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强力直抽直排真空机组
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主泵(罗茨真空泵)的确定。

1). 主泵类型的确定:(a)真空室所要达到的极限压力和工作压力,一般选取主泵的极限压力比真空室的极限压力稍高(不超过半个数量级)。(b)被抽气体种类,每种气体所占比例,以及气体夹杂灰尘等情况,参阅各种泵的使用说明。

2). 主泵大小的确定:(a)根据真空室在工作时可需要的工作压力和室内的最大排气流量来决定。每种泵及其配前级泵后组成的泵机组都有其极限压力及最佳抽速的压力范围,真空室的工作压力一定要选在主泵可组成机组的最佳抽速的工作压力范围之内。(b)根据真空室的大小和抽气时间来选泵。

3). 根据初次投资和日常维护费用等经济指标选主泵。

各种机组前级泵的选择。


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