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尾气增压真空机组
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在真空系统设计时,一般要把真空室做为已知的被抽容器,然后再选出适用的真空抽气系统。

真空室的已知参数

真空室的体积;真空管道的容积;管道布置的损耗;放气量;真空室的漏气量;工作真空度;极限真空度和抽气时间(指预抽时间和达到极限真空时间)等。

真空室内的气源情况

(a)真空室内的空气;水分及冷凝气体。

(b)工艺过程中被处理材料放出的气体。

(c)真空室密封处的漏气。

(d)真空室内的表面放气(又称内壁表面吸附气体)。

真空室内的特殊要求


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